南宫NG28

职能特点

耐高温机能

在260℃高温环境下仍能维持尺寸不变性和机械强度
，满足光刻、高温洗濯等工艺对轴承机能的要求。

耐化学侵蚀性

可抵抗半导体造作中使用的酸、碱及有机溶剂侵蚀
，耽搁轴承在化学洗濯、CMP研磨等工艺环节的使用寿命。

无油自光滑

无需使用光滑油即可实现低摩擦运行
，既预防了光滑剂传染风险
，又降低了设备守护频率。

耐磨性与颗＝谠

PEEK资料具备超强耐磨性
，可削减运行过程中摩擦产生的微粒
，预防晶圆传染风险。其表表光滑个性进一步降低了晶片表表划痕或残留物残留的可能性。

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